随着电子信息产业的迅速发展，位移传感器的应用范围日益增大。基于磁致伸缩原理而设计的新型智能化位移传感器具有高精度、有效传递距离远、可靠性高且适应于恶劣环境等特点,因而被广泛地应用到各种领域,如轮船的各种阀门控制、液位与液压系统、机械自动化等。磁致伸缩位移传感器以其长距离测量、高精度、稳定性好,正受到包括油田、炼油厂、工业控制、化工、造纸、制药、油库等行业,如薄钢板加工的钢板厚度控制;油库的油位测量;数控机床上的位移量控制;食品包装机的进料控制;江河大坝、桥梁的偏移量测量等等,而许多场合下都要求传感器能经受油渍、灰尘、化学溶液、高温、高压等的考验,要能准确稳定地传递所测量的物理量。因此研究其校准方法是很有必要的。我司通常采用采用激光干涉仪作为长度标准在导轨上对其进行校准。
传感器有通常由两部分组成:一部分是套有活动磁铁的测量部,另一部是位于测量杆上端的测量电路,当磁铁在测量杆不同位置移动时,测量电路输出其位置信息。因此可以结合激光干涉仪给出的距离作为标准来对其输出信号进行校准。目前常用来测量长度的激光干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主,其准确度可达0.5 x10-°L,测量范围达40米,分辨力0.001μm。精度比磁致伸缩位移传感器高2 ~3个数量级。
校准时,传感器按上图所示进行布置。激光干涉仪和传感器架设于导轨上。反射镜和磁铁一同置于可移动滑块。其中1为磁致伸缩位移传感器,2为可移动导轨平台,3为干涉仪反射镜,4为磁铁,5为干涉镜,6为激光干涉仪。
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