精度可以定义为测量值与真实值的接近程度。在理论上完美的世界中，线性位移传感器的输出信号应该是位置的精确体现。输出信号应与位置变化成比例，在 0-100% 之间呈直线移动。然而，在现实中，会出现不同类型的精度误差。以下是一些最常见术语的简短词汇表：
线性误差
线性度或非线性度是理论上理想的直线与实际输出信号之间的偏差。线性度可以用绝对值表示，例如毫米 [mm] 或毫安 [mA]，也可以相对于整个满量程 [FS] 表示，例如 0.01%。
滞后误差
滞后是输出信号中增加值与减少值的差异。滞后在线性位移传感器中可以被视为精度误差，但在许多开关应用中被用作一个特性。例如，接近传感器和恒温器使用磁滞来避免开关点的噪声（快速、重复的开/关）。
重复性
可重复性是衡量往返重复运动输出特性匹配的一致性的指标。位移传感器应为重复行程提供相同的输出特性。如果输出信号在行程长度上在不同的运动之间变化，则重复性存在偏差。与线性误差和滞后误差不同，线性误差和滞后误差是系统的，在行程之间不会发生变化，因此可以校准掉，而重复性误差则随行程中的每次运动而变化，因此很难校准补偿。
分辨率
分辨率是传感器可以检测到的最小变化。分辨率应该归类为精度误差还是特征是一个无休止的争论话题，因为测量不一定是错误的。但是，分辨率过低可能会导致输出信号只能粗浅体现真实值，类似于低分辨率照片，这没有错误，但不够详细。
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